超聲波清洗機(jī)清洗配備的使用領(lǐng)域越來(lái)越遍及，各種通過(guò)不時(shí)和改進(jìn)的別致超聲波清洗配備正在替代已面市的新式配備。兆赫超聲波清洗技能是指選用頻次700KHz—2MHz的超聲波停止清洗。清洗瑣細(xì)一般由壓電換能器擺設(shè)、清洗容器和清洗液、高頻電功率發(fā)生器及把握電路等構(gòu)成，對(duì)于某些特定的清洗目標(biāo)，有時(shí)還配有熱氣氛烘干、共用清洗架(籃)及清洗液的過(guò)濾循環(huán)瑣細(xì)。目前，國(guó)外市場(chǎng)上已有商用的兆赫超聲波清洗機(jī)。美國(guó)Verteq、Imtec、ProSys公司已開(kāi)宣布這類設(shè)備用于半導(dǎo)體出產(chǎn)線上，在對(duì)100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0．15μm的細(xì)小顆粒，并且可加快漂洗過(guò)程并有效地阻撓粒子在硅片表面上從頭附著。
近10年來(lái)，超聲波清洗機(jī)正執(zhí)政兩個(gè)方面開(kāi)展。其一是，各種類型的多缸或傳動(dòng)鏈?zhǔn)交蛏凳匠暻逑闯霎a(chǎn)線相繼面市；其二是，低頻超聲波清洗機(jī)向高頻超聲波清洗機(jī)的開(kāi)展。在美國(guó)、日本、歐洲以及亞太市場(chǎng)上，多缸式超聲波清洗機(jī)總量已呈明顯上升之勢(shì)，高達(dá)總量的50％，而多工位半自動(dòng)、全自動(dòng)傳動(dòng)鏈?zhǔn)交蛏凳匠暡ㄇ逑淳€體設(shè)備也已上升到總量的40％以上。
使用超聲波清洗機(jī)能破壞污物與淸洗件表面的吸附，還能引起污物層的疲勞破壞而被剝離，氣體型氣泡的振動(dòng)對(duì)固體表面進(jìn)行擦洗，污層一旦有縫可鉆，氣泡立即“鉆入”振動(dòng)使污層脫落，由于空化作用，兩種液體在界面迅速分散而乳化，當(dāng)固體粒子被油污裹著而粘附在淸洗件表面時(shí)，油被乳化，固體粒子自行脫落，超聲在淸洗液中傳播時(shí)會(huì)產(chǎn)生正負(fù)交變的聲壓，形成射流，沖擊清洗件，同時(shí)由于非線性效應(yīng)會(huì)產(chǎn)生聲流和微聲流，而超聲空化在固體和液體界面會(huì)產(chǎn)生高速的微射流，所有這些作用，能夠破壞污物，除去或削弱邊界污層，增加攪拌、擴(kuò)散作用，加速可溶性污物的溶解，強(qiáng)化化學(xué)淸洗劑的淸洗作用。
